技术编号：23068379
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于有机高分子领域，尤其涉及一种光诱导抗氧阻聚飞秒激光光刻胶及制备方法。背景技术随着信息技术和人工智能的发展，对半导体集成电路和微纳传感器的微型化需求日趋紧迫。飞秒激光直写技术是一种新兴的微纳加工技术，具有真三维的加工制造能力。目前，在基板上的线条加工分辨率已经达到50nm左右。飞秒激光直写技术利用飞秒激光光刻胶对飞秒激光的非线性光学吸收效应，同时吸收飞秒激光的两个光子产生活性自由基，引发飞秒激光光刻胶的聚合，从而改变溶解性，最终在显影后形成预期微纳结构。飞秒激光直接技术所能达到的分辨率与...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。