技术编号：23068396
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光直接成像技术领域，尤其涉及一种ldi平台误差补偿方法。背景技术ldi运动平台机械安装时不可避免的引入各种误差，如光栅尺过程中因受力不均引起的线性度误差，导轨安装时引入直线度误差，以及x轴和y轴垂直度误差，因此若想获得理想的曝光图形精度与对位精度，必须要对运动平台进行误差补偿。目前ldi运动平台的补偿方案都是通过2dmapping的方式，即计算各网格点到起始网格点x向和y向的累积误差，并将这些误差数组补偿到控制器中，这种补偿方式的缺陷是只能补偿线性度，无法补偿直线度和轴正交性。发明内...
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