技术编号：2309732
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。、本发明涉及在电介质材料或半导体的薄片材状工件中产生多个孔的方法，并且进一步涉及一种用于执行该方法的设备以及通过这种方法产生的产品。背景技术通过电产生的火花对塑料膜进行穿孔从US4，777，338已知。提供多个电极-对电极对，其间引入塑料膜并跨塑料膜释放高电压能量。通过水浴移除该膜，并且利用水浴温度来控制穿孔的尺寸。用于在塑料膜中产生孔的另一方法从US6, 348，675B1已知。在塑料膜插入电极之间的情况下，在电极对之间产生脉冲序列，第一脉冲用于在穿孔点...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。