技术编号：2309821
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用来搬送物品的搬送机械手，尤其适于如用于太阳电池板的大型玻璃基板那样的较重的基板的搬送。背景技术为了对于如化学蒸镀装置(CVD (Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)装置)那样的基板处理装置，搬入应处理的基板并搬出处理结束的基板，而使用各种搬送机械手。作为被处理的基板的一例，存在太阳电池板中使用的方形的玻璃基板，其大小为一边超过2m，为大型的重物。在水平状态下将如上文所述的大型的玻璃基板收容在支架(rack)上的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。