技术编号:2310296
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种无耦合运动的柔性铰链工作台,具体是一种基于电致伸缩器件和双层柔性铰链对称结构的二维无耦合运动微位移工作台,属于微机电系统。背景技术微位移技术是精密机械与精密仪器的关键技术之一,近年来随着微电子技术、宇航、生物工程等学科的发展而迅速地发展起来。微位移工作台在微机电系统、扫描探测显微镜、超精密加工、光学元件制造以及生物医学工程等领域有广泛的应用,具有纳米级精度的微位移工作台是其核心部件。同时二维微位移工作台是研究三维微位移工作台的基础。设计二维微...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。