技术编号:2310831
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉 及伺服定位平台领域,尤其涉及ー种用于ニ维平面定位的超薄三轴伺服定位平台。背景技术伺服定位平台在エ业自动化领域应用广泛。在ニ维平面定位方面,往往只通过X轴和Y轴方向的运动无法完成平面的精确定位,通常还需要将伺服定位平台进行旋转操作(即e操作)才能完成精确定位。在ニ维平面定位方面,传统的三轴伺服定位平台如图I和图2所示。图I给出ー种现有的三轴伺服定位平台,包含ー用于X轴向位移的X轴运动装置、ー用于Y轴向位移的Y轴运动装置、一用于旋转操作的旋转运动装置...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。