技术编号:2311981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开的实施方式涉及用于输送对象物的机器人手和具有该机器人手的机器人。背景技术以往,用于输送对象物的机器人手是公知的(例如,参照专利文献I)。该现有技术的机器人手(基板输送用手)经由手安装用板安装在机器人(自动输送装置)的手安装部上。进而,该机器人手具有配置在对象物(基板)的周缘部的外侧的臂、和安装在该臂上并把持 对象物的周缘部的基板把持部。基板把持部的基材把持部件由引导部件(把持母材)、移动并引导该引导部件的引导件、以及支撑对象物的背面的支撑销构成。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。