技术编号:2312551
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及搬运机器人。背景技术以往,公知将液晶用的玻璃基板、半导体晶片等薄板状工件搬入、搬出储藏库(stocker)等的搬运机器人。例如,专利文献I中提出如下一种机器人使一对腿部单元动作,从而使配置在上部的臂单元上下移动,并通过所述臂单元搬运薄板状工件。专利文献1日本特许第4466785号公报然而,就现有的搬运机器人而言,致动器、马达等驱动部是以相同的结构设置的一对腿部单元,从重量、成本的削减这样的观点来看,还存在改善的余地。发明内容本发明是鉴于上述情况而...
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