技术编号：2312594
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本文所讨论的实施方式涉及搬运机器人。背景技术常规地，已知一种搬运机器人，该搬运机器人在形成于所谓的EFEM (设备前端模块)的局部清洁设备中的空间内在半导体制造过程中将基板(例如，晶片)搬入或搬出处理设备。搬运基板的搬运机器人总体上包括设置有保持单元的臂，所述保持单元在其末端保持基板并且在保持该基板(例如将基板放置在该保持单元的上表面上)的同时通过沿水平方向操作臂以及保持单元来搬运基板。这种搬运机器人的示例包括这样的搬运机器人，该搬运机器人包括多个保持单元...
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