一种用于硅光芯片的模斑转换器的制作方法技术资料下载

技术编号:23149338

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本发明涉及硅光芯片相关技术领域,更准确的说涉及一种用于硅光芯片的模斑转换器。背景技术光子集成,即光子集成电路,其以介质波导为中心集成光器件的光波导型集成回路,即将若干光器件集成在一片基片上,构成一个整体,器件之间以半导体光波导连接,使其具有某些功能的光路。在未来的高速率、大容量信息网络体系中,光子集成技术将成为主体技术。由于硅材料具备高带宽、低插损,且易于实现光互连所需的分路器、调制器、探测器等光学元件,因此目前硅光芯片是光子集成的主要实现手段,本专利也主要针对硅光芯片来展开的。在光集成中的一个...
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