技术编号：2318023
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机械装置，尤其是基于双微悬臂梁结构的微型镊子。可作为微型机械手应用在微观领域的机械夹持，特别是微光机电系统(MOEMS)的元件集成中。背景技术 在研究微观世界时，特别是在微纳级器件的应用于中，宏观世界中常用的夹持机构已无法满足对微型器件操件(如夹持)的要求，需要研制微型夹持机构。镊子作为一种夹持工具，无论是生活、生产，还是科学研究中，都发挥了十分重要的作用。但随着科学技术逐步向微观世界的深入发展，日常使用的镊子以无法满足尺寸小于毫米以下，特别是...
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