技术编号：2318293
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将在固定的位置上被旋转驱动的主动旋转轴的旋转驱动力向可移动的被动旋转轴进行传递的驱动连接机构及具有该驱动连接机构的真空机械手。背景技术 在半导体制造装置等中，由在减压或真空下进行处理的多个工序，在这些工序中，有在真空容器内对基板进行搬送的工序。作为在真空容器内搬送基板的装置，已知有例如专利文献1所揭示的真空机械手。该真空机械手，是在真空容器内收容有搬送部并将驱动部收容在大气侧的机台内的构件。在该真空机械手中，通过将驱动部的电机进行驱动，利用在真空...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。