技术编号:2320096
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种器件分割定位装置[0001]本实用新型涉及一种定位装置,特别是涉及一种器件分割定位装置。背景技术[0002]小型微型器件因其尺寸的特点,其生产工艺中采用众多单个器件有规则成矩阵形式分布在大尺寸基片或是载片上,完成一定的先序工艺后再进行分割。元件分割时定位是否准确,会影响到元件的性能和形状,使元件的后续使用问题增加。目前,有的片式元件基片预先加工形成分割凹槽,分割工艺时直接采用折断的方式;有的采用预先加工形成分割线,分割工艺时于分割线处分割,该工艺不仅需...
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