技术编号:23231239
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测量方法,更具体地,涉及一种具有周期阵列结构的器件中周期栅阵的周期长度的测量方法。背景技术在诸如声表面波滤波器件之类的具有周期阵列结构的器件的前道加工中,诸如金属叉指换能器(idt)之类的周期阵列结构的各种特征尺寸会严重影响最终的性能,必须在加工过程中对这些特征尺寸进行精确地测量。其中,周期阵列结构中周期栅阵的周期长度是影响器件工作频率的最主要因素。目前测量周期阵列结构的周期栅阵周期长度等微观结构尺寸的方法主要是通过各种带标尺或标定好的显微镜拍好显微图像,在通过机器判别或人工判别并...
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