技术编号：2323216
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机械臂。更具体地说，本发明涉及一种随自身的伸展和收拢而夹持和释放工件的机器人臂。在大规模集成电路(LSI)的制造过程中，附着在半导体晶片、液晶显示片(LCD)、太阳能电池板等表面的微颗粒或杂质大大降低最终产品的生产率。因而在制造过程中需要在一个清洁的环境中将半导体晶片传送和保持。通常将多个半导体晶片装入一个盒子中传输于各个加工系统之间。在一个加工系统中，通过机器人臂将半导体晶片送到预定的位置。为了加工系统中的输送过程中固定住半导体晶片，使用了真空...
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