技术编号:23275588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制作技术领域,更具体的说涉及一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构。背景技术湿法刻蚀清洗机按清洗的结构方式可以分为槽式批量清洗和单片清洗机两种类型;清洗设备主要由耐腐蚀机架、酸槽、水槽、干燥槽、控制单元、排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。其中,酸槽和管路单元是清洗设备的主要组成部分。按照材料的差异,槽体可分为用不锈钢材质的生产的槽、用npp材质生产的抗腐蚀的槽、用pvdf材质生产的槽、用ptfe材质生产的槽、用石英材质生产的槽等,按照功能的差异槽体又可分为酸碱刻蚀槽、溢流清...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。