技术编号：2328095
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及精密机械，更具体地说是应用在纳米级定位精度的精密机械中的二维工作台。背景技术在很多应用场合中，需要具有数十毫米行程、纳米级定位精度的二维工作台。满足大量程高精度的二维工作台大多采用多层结构和多级驱动，首先是以定位精度并不高的步进行电机大行程初级驱动，再通过压电陶瓷的微驱动，实现高精度定位。在结构上，往往有2层到4层，以满足不同方向位移和初级、精级驱动的需要。这样的工作台，导轨面之间及导轨面与工作台面之间均有较大的间距，阿贝误差不容易控制，无法...
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