技术编号：23292024
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种电弧等离子体炬用引燃气体分配环，特别适用于金刚石涂层和金刚石膜的制备。背景技术等离子体炬是用于气相沉积制备单晶材料、多晶材料或薄膜材料的一种重要装置。电弧等离子体炬是该类装置的具体类型之一，其结构一般具有一个阴极以及至少一个阳极，阴极和阳极之间通过施加直流电压以及高频高压能够形成电弧，至少一个相邻的电极之间具有进气通道，进气通道的出气端设有能够使气体形成旋转气流的结构，旋转气流推动电弧阳极斑点高速旋转形成旋转电弧，使等离子体均匀沉积。在现有的电...
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