技术编号:2329622
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种工业用机器人,尤其涉及例如在液晶制造装置和半导 体制造装置等的减压氛围下使用的工业用机器人。背景技术在设于减压氛围下(更具体说是真空下)的室内的工业用机器人中, 除去由安装在该工业用机器人内部的马达等产生的热量很重要。作为一项将设于减压氛围下的室(下面有时也适宜地称作"真空室")内的工业用机器人中产生的热量除去的技术,在专利文献1中介绍了能使 冷却气体在收容有许多个马达等发热零件的工业用机器人内部的所有部位 循环的冷却机构。对该文献的图1中所...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。