技术编号：2330268
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。传送手臂所属駄领域本实用新型涉及半导体设备上用于传送、运载晶片的手臂装置，尤其能安 全传躯载带魏曲变型的晶片的机械传送手臂。 背景駄目前，半导体设备的传送机器人上安装的传送手臂有用真空吸附式的，但 制品在制作过程中有时会发生翘曲，翘曲有时为上，有时向下，不固定。这时， 普通的传送手臂在传送过程中，由于制品的翘曲，手臂不能完全吸住制品，制 品会造成位置偏移造成不良品，甚至会发生掉片，造成不必要的损失。 实用新型内容为了克服现有机器人上的传送手臂不能传送有翘曲...
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