技术编号：23327661
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及分析仪器领域，更具体地说，是一种应用于分析仪器的真空室上的真空气流控制系统。背景技术在分析仪器行业，尤其是能谱仪，需要在真空环境下进行样品检测。目前常见的方式为直接将真空泵和真空室相连。真空室内部安装有电气元件及薄膜等，在抽真空时气体流速增大，会将真空室内的颗粒带起，颗粒会撞击电气元件和薄膜的表面，从而将其破坏。同时在泄压时直接通过管道将大气引入真空室，此时空气中的粉尘等杂质会进入真空室内，跟随气流运动，有可能会撞击电气元件及薄膜的表面。以上所述两个现象，在目前的分析仪器中为普遍存...
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