技术编号:2334553
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光伏电池制造领域,特别涉及晶体硅电池制造过程的硅片 吸取工具。背景技术在光伏电池,特別是晶体硅太阳电池的制造过程中,在对硅片进行表面制 绒清洗后,需将硅片通过真空吸笔吸附置于石英舟中,然后将装载硅片的石英舟置于扩散炉中进行扩散;在扩散完成后,使用真空吸笔将硅片取出置于另一 载具上经过去磷硅玻璃及刻蚀后,再使用真空吸笔将硅片放入石墨舟进行PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor D印osition,等离子增强化...
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