技术编号:2335277
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种机器人的装置,具体地说,涉及的是一种五维 正交结构微纳操作台。 背景技术并联微操作机器人具有亚微米至纳米级的定位精度,在精密加工、电子封 装、光纤对接、生物与遗传工程、材料科学和航空航天等领域中均具有广阔的应 用前景,并且更是国内外学者关注的课题。自从在1962年,Ellis首先提出了采 用压电陶瓷驱动的微操作机器人后,微动机器人的研究引起了国内外学者的重 视。1989年Hara和Sugimoto提出并研究了一种用柔性铰链代替传统铰链的微...
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