技术编号:2337882
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属光刻设备领域,尤其涉及一种用于取放硅片的硅片机械手。 背景技术传统的用于接片的机械手,如图6所示,由直流电机603驱动凸轮604 运动,带动滑块605上下滑动。而机械手爪601直接固定在滑块上,跟随滑 块上下运动。图中,602为电机固定架,606为导轨。其具有如下问题在硅 片接放过程中,真空始终开启,接片机械手上升到接片位时,由于接片机械 手的刚度大于硅片刚度,真空吸附力会造成硅片中间凸起变形。另外,在圆 形硅片接近吸盘时,吸盘的真空吸附力大于...
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