技术编号:2341814
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种机械臂机构,尤其是一种使用在晶粒分拣机或固晶机中的可以同时驱动两套真空吸嘴装置进行晶粒取放动作,而且可以方便调节对晶粒下压力,并且带有下压力传感器的双机械臂装置。背景技术在发光二极管晶粒生产过程中,首先生产出整片的晶片,晶片经过切割后分割为互相完全分离的独立的晶粒,并独立粘附于具有粘性的蓝膜上。在后续晶片分类工艺中,晶粒分拣机需要使用一真空吸嘴装置将晶粒从蓝膜上吸取起来,并放置到规定的位置;或者在后续固晶工艺中,固晶机需要使用一真空吸嘴装...
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