技术编号:23443817
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及薄膜生产领域,具体涉及一种基于微波谐振的薄膜检测装置。背景技术为了确保薄膜生产高效、经济、高质量,生产中物理参数的动态测量非常重要。传统生产中薄膜物理参量动态监测使用两种方法检测,一种是辐射法,另一种是光学法。辐射法会对环境造成辐射污染,对生产人员造成伤害,生产成本增加;光学法虽无污染,但是检测范围和精度受限,很难满足生产需要。如何高效、经济、安全的满足薄膜生产中物理参数的动态测量,是制约薄膜生产的一项关键技术。尤其是满足智能生产需求尤为迫切。微波可以用于薄膜物理参数动态测量早有定...
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