蒸发源的加热装置和蒸镀设备的制作方法技术资料下载

技术编号:23451719

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本申请属于蒸镀技术领域,具体涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。背景技术有机发光二极管(organiclight-emittingdiode,oled)器件具有更轻薄、亮度高、省点、清晰度高等诸多优点,可广泛应用于手机、电脑等各种终端设备的显示领域或其他照明领域。当前,oled器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热转印等多种方式。其中,蒸镀工艺是在一定的真空条件下加热蒸镀材料,使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽,然后凝结在基板表面成膜,从而形成oled器件的功能层。对于蒸镀...
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