技术编号：23451725
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。背景技术在oled面板制备过程中，蒸镀工艺其是其中的关键工序。在蒸镀过程中，采用蒸镀掩膜遮挡基材，蒸镀材料从蒸镀掩膜开口蒸镀到对应的基材上，但目前通常采用点源和线源的方式，如此需要点源或线源与基材发生相对移动才能使得基材被蒸镀，从而不仅会导致蒸镀效率的下降，还会因点源或线源存在移动而导致蒸发口部在不同位置喷出的蒸镀材料相互影响，最终会导致有机膜的成型厚度不均匀。也就是说，现有的点源和线源的蒸镀效率和蒸镀质量较低。因此，目前亟待需要一种蒸镀装置来解决上...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。