技术编号：23479932
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械系统领域，具体涉及一种热电位移动促动器结构。背景技术mems驱动技术可分为静电驱动、热电驱动和电磁驱动。静电驱动是mems结构中常用的一种，具有功耗低的优点。然而，静电驱动除了粘滞问题外，还有一个缺点，即需要进行热密封，以防止湿气引起的高电场短路，从而增加成本。电磁mems是由线圈或磁铁组合而成，与传统的mems工艺不兼容，生产比较困难。另一方面，热电mems是一种相对简单的器件结构，可以通过具有公差松的低成本半导体批量制造工艺进行批量生产。然而，传统的热电mems结构耗能大...
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