技术编号：2348021
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种化学机械抛光机用助力机械手，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。本实用新型的助力机械手通过合理的设计实现一次吸吊两块以上陶瓷板，在不损失抛光机设备效率的前提下，减少了人力。专利说明化学机械抛光机用助力机械手[0001]本实用新型涉及一种化学机械抛光机用助力机械手，属于化学机械抛光机。背景技术[0002]硅片的化学机械抛光工艺一般采用多步抛光，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。