技术编号:2348841
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于工业机器人,特别是涉及一种机器人手臂机构。 背景技术用于半导体器件搬运的小型机器人,必须能够适应高洁净度而空间狭小的使用环 境,同时满足结构简单紧凑、结构刚度高、运动灵活可靠、重复定位精度高和可靠性高的要 求。为了提高工作效率,通常将两组机械手臂安装在同一回转平台上,当一组手臂取片之 后,另一组手臂可以放片。两个手臂间的回转运动是由同一驱动轴驱动的。其手臂完成在 一个工位取放片后,需要回转到另一工位,去完成另一工位的取放片工作,效率低。目前国内外...
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