技术编号:2354457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种机器人的臂机构,该臂能够收缩和延伸,更具体地,本发明涉及一种机器人臂机构,其具有一个用于驱动该臂到呈收缩位置和延伸位置的臂驱动机构。背景技术 迄今为止,在半导体生产过程中已采用很多种的传统的机器人臂机构,其工作过程中机器人臂机构用来使机器人臂收缩和延伸来操作工件,即,被处理的物体。这些物体可以包括例如晶片和其它精密零件之类的工件,它们被机器人臂机构传送并卸载在一工作台上。这种类型的传统的机器人臂机构的一个典型例子公开在例如日本专利公开号200...
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