技术编号:23574337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种太阳能光伏行业的散热系统,尤其是一种扩散和cvd用储舟位并行散热系统。背景技术低压扩散设备和管式cvd设备,是太阳能光伏行业使用最普遍的技术设备,石墨舟和储料架是这两种设备中必不可少的重要部件。石墨舟就是硅片载体,可以把需要做工艺的硅片放于石舟中进行各种镀膜工艺。随着光伏设备技术的发展,降低成本、提高设备的性能和工作可靠性的要求越来越高,现有的石墨舟在储料架上是从下到上叠层放置的,散热风扇直接设置在石墨舟的底部向上吹风进行散热,由于热风冷风之间没有特定的循环路径,下层的热风会直...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。