技术编号:2359959
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体集成电路生产线设备制造领域内,一种用于硅片传输机器人 的W轴差轴传动机构,用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。由于W轴差轴传动机构的 高度尺寸较小,适用于对高度方向尺寸有一定限制的R轴空间结构。背景技术对于硅片传输机器人来说,有时取放硅片的位置比较特别,仅利用R轴来完成工 作流程非常困难甚至不可能,此时需要在R轴小臂末端安装一个独立的辅助机械臂——W 轴传动机构来完成特殊位置的取放硅片工作流程。W轴传动机构的动力由独立的W轴电机 输出,由...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。