技术编号：23628684
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空泵及温度控制装置，特别涉及如下真空泵及温度控制装置：能够以简易的结构防止随着温度传感器的异常而产生的泵的过度加热、过度冷却，前述温度传感器用于为了防止产物的堆积而设置的加热器或水冷用电磁阀的控制。背景技术随着近年的电子工学的发展，存储器、集积回路这样的半导体的需求急剧增大。这些半导体通过向纯度极高的半导体基板掺杂杂质来赋予电气性质，通过蚀刻在半导体基板上形成精细的回路等而被制造。并且，这些作业为了避免由于空气中的灰尘等造成的影响而需要在高真空状态的腔内进行。该腔的排气一般使用真空泵...
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