技术编号:2364310
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及运输装置,具体而言,本发明涉及具有很多互锁联接以轻松传输诸如半导体组合件之类物品的双传动单元的运输装置。背景技术 通常,半导体生产系统包括自动传送诸如晶片、液晶显示LCD基片等半导体组合件的运输装置,以通过自动化生产线来提高工作效率。现在主要应用选择性柔度组合件机械手。但是最近开始应用平行运输装置,因为和SCARA运输装置比较,其具有简单的结构并在真空下有用。传统平行运输装置具有许多平行互锁联接的双转动单元以传输半导体组合件。比如,美国专利6,1...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。