技术编号：2365556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种抓取组件和具有该抓取组件的抓取装置，尤其是涉及一种用于从载板上抓取晶片的抓取组件和具有该抓取晶片。背景技术在平板式PECVD设备中，如图5所不，晶片B的载具为石墨载板C,可以在石墨载板C上摆放多个(10行*13列或8行*10列)晶片B进行工艺处理。为了防止晶片B在载板C上滑动，要在载板上按照晶片的规格打孔，插上陶瓷柱A，然后将晶片B摆放在规划好的由陶瓷柱A限定的格内。 由于石墨载板C进行工艺处理后变形较大，为了将晶片B准确地放入载板C上的格内...
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