技术编号:2366518
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超声引线键合夹具,尤其涉及一种柔性超声引线键合夹具。 背景技术在MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)超声引线设备中,夹具性能的好坏对引线键合的效率具有显著的影响。目前的夹具一般都是针对某种固定器件而设计的,单次只能加持一个器件,通用性和效率都相对较差。随着MEMS器件小批量、多样化、高效率生产的出现,这种专用性夹具越来越不能满足应用的需求。对不同器件的快速转换和加持,满足不同形状和尺寸的加...
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