技术编号:2366537
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电精密仪器领域,特别涉及一种基于压电和电磁混合驱动的微小型机器人,尤指一种基于混合驱动的六自由度微小型机器人。本发明能够实现六自由度精密运动及定位。对于微小型机器人的研发和精密仪器内关键零部件的高精度定位将会起到非常重要的促进作用,对微机电系统(MEMS)技术和纳米工程等高技术产业集群的发展具有极为重要的支撑和推动作用。背景技术MEMS (Micro Electronic Mechanical System )技术是一项面向 21 世纪的高新...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。