技术编号:2366775
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种工业用机械手,特别是关于一种用于传送片状物品机械手的手爪的改进。背景技术一般的机械手(包括各种片状物品的自动化送料设备)包括控制手臂升降、平移、或旋转的驱动部分和用于拿取、卡持片状物品的手爪部分。片状物品包括各种尺寸的硅片,液晶薄片等,下面以硅片为例加以说明。目前机械手的手爪主要是采取真空吸附式手爪,即将手爪伸入硅片的底部,通过真空系统,吸附住硅片的底面,再通过驱动部分操作手臂运转输送。吸附式手爪在操作中具有许多优点,但是也存在一些问题1...
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