技术编号:2368334
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种搬运工具,尤其涉及一种晶圆集装箱的搬运工具。 背景技术晶圆在长距离或者短距离的运送过程中,常常以集装箱的形式来实现。我 们在搬运集装箱的过程中,要么用手直接搬运,或者用小车来运送。用手直接搬运,容易使晶圆的受力不均,造成晶圆的损坏,并且不利于长距离的运送; 采用小车搬运,容易造成成本的增加。实用新型内容本实用新型为解决现有技术中,用手搬运晶圆集装箱容易造成晶圆损坏, 用小车搬运,造成成本增加的缺点,提供了一种晶圆集装箱的搬运工具。一种晶圆...
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