技术编号：23724072
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种晶圆级au金属膜层湿法腐蚀图形化的方法技术领域本发明涉及毫米波雪崩二极管管芯制备技术领域，具体是一种晶圆级au金属膜层湿法腐蚀图形化的方法。背景技术雪崩二极管是六十代中期开始发展起来的一种新型的微波半导体功率器件，全名是碰撞电离雪崩渡越时间二极管，即“impact ionization avalanche transit time”（impatt） ，通常称为impatt管或impatt二极管，它是雪崩倍增效应和渡越时间效应两个物理过程所形成的相位延迟的负阻有源器件。...
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