技术编号：2372742
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及 一 种自动校正机械手臂，尤其涉及 一 种在晶圆 的传送过程中感测晶圓是否偏移的自动校正机械手臂。背景技术在半导体制造过程中，晶圓 一 般是利用传输系统将其从一 个工作站传送至另一工作站或从卡度等收容器中传送至各种工 作站或从工作站传送到卡匣收集保存。传输系统在传送晶圓的 过程中，若晶圓的圓心或相对水平度发生偏移，就会造成破片， 拖片等不良现象，损坏晶圓。通常工业上会利用 一 可自动校正的机械手臂，来感测晶圓 圓心在各种工作站或卡匣时的实际位置，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。