技术编号:23727802
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体材料生产技术领域,特别是涉及一种加料筒。背景技术加料筒是单晶生产过程中一个不可或缺的装置,硅料需要通过加料筒运送至单晶炉内,才能实现连续生产,而加料筒的使用寿命长短直接关系到生产效率与成本。加料筒由石英料筒、金属提升杆、石英底碗和石英底衬组成,其中,石英料筒用于盛装硅料,金属提升杆和石英底碗组成升降式阀门,控制硅料的盛装、承重和下料速度,而石英底衬用于控制石英底碗和金属提升杆之间的连接。加料过程中,石英底衬要承受整个加料筒和放入其中的硅料的重量...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。