技术编号:23748300
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于扩散炉技术领域,具体为一种扩散炉风冷散热架体。背景技术扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。一般在对扩散炉进行散热的过程中,需要将风扇固定安装在散热架体上,但是仅通过固定安装的风扇对其进行散热,由于扩散炉的体积较大,故对其的散热效果较差。发明内容针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种扩散炉风冷散热架体,有效的解...
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