技术编号:2375879
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造过程中搬运晶圆的机械手,具体地说是一种机械手碰撞保护装置,包括手指部分、检测装置及安装在所述机械手手臂上的手臂连接板,手指部分通过弹簧夹片与手臂连接板夹持连接,受到外力碰撞的手指部分可相对所述手臂连接板移动;在所述手指部分及手臂连接板上安装有检测手指部分与手臂连接板相对移动的检测装置。本发明在机械手与其他物体发生碰撞时,通过传感器检测手指连接板与手臂连接板之间的相对移动,控制机械手紧急停止运动,可以对机械手和与机械碰撞的物体起到保护作用...
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