技术编号:23761397
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机械传感器技术领域,特别是涉及一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器、加速度测量方法。背景技术谐振式微机械加速度传感器具有高灵敏度、高精度和高稳定性的优点,是微纳加速度传感器的前沿技术之一。谐振式微加速度传感器的灵敏度和稳定性是该类传感器的重要性能参数指标。现有技术中,谐振式微加速度传感器通常采对称布置的谐振梁以检测差分频率来计算所测的加速度,传感器的灵敏度会受到结构固有频率的限制;此外温度变化容易对谐振频率产生影响,从而导致稳定性下降。为了提升器件...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。