一平动两转动并联微动平台的制作方法技术资料下载

技术编号:2376839

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本发明提供一种一平动两转动并联微动平台,包括运动工作台、静平台和连接于运动工作台与静平台之间的三条支链,其特征在于每条支链均包括一个连杆,连杆的一端通过弹性球铰与运动工作台连接,连杆另一端与弹性薄板的一侧连接,弹性薄板的另一侧通过压电陶瓷驱动器与静平台固接,三个连杆的几何轴线互相平行。本发明可实现一平动两转动,多条支链增强了微动平台的刚度和承载能力。专利说明一平动两转动并联微动平台[0001]本发明属于制造,具体是涉及一种一平动两转动并联微动平台。背景技术...
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