技术编号:2380287
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及激光精密设备领域,具体而言,涉及一种真空吸附载具。背景技术激光精密加工技术在半导体、太阳能、SMT、平面显示等领域应用广泛且发展迅速。在使用激光对金属、非金属薄板材进行加工或测量的过程中,加工对象的装夹固定方式对于加工效果或测量精度存在影响。相关的装夹固定方式由于不具有根据材料性质调节吸附气压的功能,难以满足用户在加工和测量精度方面的需求。实用新型内容本实用新型旨在提供一种真空吸附载具,以解决上述的问题。在本实用新型的实施例中,提供了一种真空...
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