技术编号：2383016
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及二维微动台，特别是涉及一种基于位移传感器的二维微动台。背景技术微驱动技术是微机电系统研究的重要内容，应用于精密自动控制与微细操作等领域，直接影响精密、超精密切削加工水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平的关键环节，在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用。微驱动机器人在微零件装配、微机电系统(MEMS)、医学、精密光学等领域有着广泛的应用前景。而微驱动台作为微装配机器人的核心执行部分，直接决定机器人的工作效果。研究具有微...
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